熱式質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)勢(shì)與劣勢(shì)
發(fā)布時(shí)間：2022-06-20 08:43:03
1、熱式質(zhì)量流量傳感器優(yōu)勢(shì)：
（１）靈敏度高：熱式傳感器對(duì)溫度的變化非常敏感，因此非常易于測(cè)量；
（２）功耗低：因?yàn)槌叽绾透袦夭牧系牟粩鄡?yōu)化，傳感器的功耗越來(lái)越低；
（３）尺寸?。含F(xiàn)在的熱式傳感器結(jié)構(gòu)因?yàn)椴捎茫停牛停庸に嚕话闶抢迕谆蛘呶⒚准?jí)；
（４）量程大：測(cè)量下限很低，可以測(cè)量微小流量；
（５）集成度高：結(jié)合ＭＥＭＳ工藝可以將芯片、流道和信號(hào)處理電路集成到一起；
（６）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：硅基片上結(jié)構(gòu)包裝后方便安裝在需要的設(shè)備上；（７）成本低：可以結(jié)合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產(chǎn)。2、熱式質(zhì)量流量傳感器劣勢(shì)：
（１）測(cè)量氣體組分單一：當(dāng)氣體種類改變時(shí)，不同氣體的導(dǎo)熱系數(shù)、粘度、比熱容都有差別，測(cè)量時(shí)會(huì)帶來(lái)較大的誤差；
（２）要求氣體干燥無(wú)污染：濕度較大的氣體對(duì)傳感器表面的熱量交換有影響，進(jìn)而影響到輸出結(jié)果；顆粒物對(duì)傳感器的輸出結(jié)果也有影響。
